助力半导体制造 完全自主研发 超高速机械齿轮增速器在明月湖交付

5月12日，记者从两江协同创新区获悉，近日，在明月湖畔，由重庆大学高端装备机械传动全国重点实验室、重庆大学国家卓越工程师学院科研团队完全自主研发的超高速机械齿轮增速器顺利通过客户的现场验收并交付。

据了解，超高速机械齿轮增速器是半导体制造的重要装备，用于晶圆制造、封装与测试及辅助设备优化等多个场景。例如，在3D封装中，该增速器可大幅提升钻孔效率并减少热损伤。此外还能优化刻蚀机的气体流量控制，提升刻蚀均匀性等。

超高速机械齿轮增速器示意图。两江协同创新区供图

验收现场，验收组对装备性能及指标进行了现场核验，超高速机械齿轮增速器在核验过程中完成了1小时48000rpm(转速，即每分钟旋转的次数)连续运转和1小时15000rpm-50000rpm变转速运转。增速器振动、温升及噪音等性能指标均满足设计要求。

超高速机械齿轮增速器验收现场。两江协同创新区供图

正因超高转速的使用要求，超高速齿轮增速器的振动、噪声、温升、密封等面临极大的研发挑战。研发团队历时近7个月时间，先后攻克高速传动系统振动噪声控制、滑油系统真空密封与高安全设计、传动系统热平衡控制、增速器监测系统设计等关键技术，成功研制出满足设计要求的超高速机械齿轮增速器机电一体成套装备。

据悉，重庆大学高端装备机械传动全国重点实验室定位于空、天、地、海高端装备精密、重载、高速、高可靠机械传动核心基础零部件“卡脖子”问题和重大战略需求，开展啮合理论、传动系统设计制造及运维核心技术的基础和应用基础研究。

而重庆大学国家卓越工程师学院面向国家重大战略和区域经济发展，构建以智慧能源、工业母机等“N”个国家急需关键领域与智能网联新能源汽车、机器人应用创新“2”个自设特色领域为主的“N+2”学术架构，探索政产学研四维协同卓越工程人才培养可持续发展新机制，强化科技创新与产业创新深度融合发展。下一步，双方将继续携手共进，探索更多科技成果。(新重庆-重庆日报记者 申晓佳)